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        ALD / CVD前驅體系列產品

        高純ALD/CVD前驅體產品是整個電子工業體系的核心源材料之一,其被廣泛應用于電腦芯片、太陽能電池、移動通訊等電子器件制造的諸多方面,在新型太陽能電池、電子產品等領域發揮著巨大作用。

        六氯乙硅烷

        Cl6Si2

        ≥99.999995%

        四乙氧基硅烷

        C8H20O4Si

        ≥99.9999999%

        八甲基環四硅氧烷

        C8H24O4Si4

        ≥99.999999%

        四甲基硅烷

        C4H12Si

        ≥99.99999%

        硼酸三乙酯

        C6H15BO3

        ≥99.9999999%

        磷酸三乙酯

        C6H15O4P

        ≥99.9999999%

        四(二甲胺基)鈦

        C8H24N4Ti

        ≥99.9999%

        四氯化鈦

        Cl4Ti

        ≥99.99999%

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