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        高純電子特氣系列產品

        高純砷烷、磷烷等特種氣體均為集成電路制備中的主要支撐材料,廣泛應用于電子行業、太陽能電池、移動通信、汽車導航等方面,南大光電所售磷烷、砷烷產品純度達到6N級別。

        除此之外,南大光電還有磷烷混合氣、砷烷混合氣、乙硅烷混合氣等各種混合氣可售,其平衡氣可選氫氣H2、氦氣He、氮氣N2、氬氣Ar等,其他混合氣可根據客戶要求定制,氣瓶規格為47L、470L及定制規格。

        磷烷

        PH3

        ≥99.9999%

        砷烷

        AsH3

        ≥99.9999%

        磷烷安全源

        PH3

        ≥99.9997%

        砷烷安全源

        AsH3

        ≥99.9995%

        三氟化硼安全源

        BF3

        ≥99.9%

        磷烷混合氣

        99.9999%/99.99999%

        砷烷混合氣

        99.9999%/99.99999%

        硅烷混合氣

        99.9999%/99.99999%

        乙硼烷混合氣

        99.999%/99.9999%

        乙硅烷混合氣

        99.999%/99.9999%

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